低温等离子体工艺原理（等离子电离分解+氧化还原作用）

      等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，随着电极两端外加电压的升高，电极之间的绝缘体被击穿，发生电离分解反应，产生包括各种电子、离子、原子和自由基在内的混合体；当电压升高到一定值（N）的时候，达到电子和离子的运动值，达到这一值叫等离子体。

      根据试验测得等离子体的能级为15eV，污染物分子的能级小于11eV，因此等离子体有足够能量打开和击断废气中绝大部分污染物的化学键，使废气污染物分子团从分崩离析出来；与此同时，等离子体还能电离分解空气中的H2O、O2分子，产生臭氧和活性氧，协同反应对废气污染物进行氧化还原作用，重新排列组合成以H2O、O2为主的无害化分子，从而达到对废气的净化处理作用。